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OP-PAI系列真蜂窝气浮隔振光学平台 • 水平方式：自动充气，自动平衡 • 固有频率：1～1.5Hz • 重复定位精度：±0.10mm • 台面材料：SUS430高导磁不锈钢 • 台面内部结构：隔离杯真蜂窝内芯 • 台面厚度：100/200/250mm • 平面度：0.1mm/600mm×600mm • 台面粗糙度：≤0.8μm
OP-AI系列气浮隔振光学平台 • 固有频率：＜1.2～2Hz • 重复定位精度：±0.10mm • 台面材料：SUS430高导磁不锈钢 • 台面厚度：100/200/250mm • 平面度：≤0.05mm/m2 • 台面粗糙度：≤0.8μm，局部可达0.4μm • 气浮支架：双层气室，3个真空管水平调节阀，四或六支撑腿 • 台面加支架总高度800mm，总高度可调范围：-20～+20
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