显微分光膜厚仪采用检量线法和FP法，可防止在对焦时造成的损坏

更新时间：2023-02-06 点击次数：797

　　显微分光膜厚仪利用光学干涉仪和自有的高精度分光光度计，实现非接触、无损、高速、高精度的薄膜厚度测量。光学干涉测量法是一种使用分光光度计的光学系统获得的反射率来确定光学膜厚的方法。以涂在金属基板上的薄膜为例，从目标样品上方入射的光被薄膜表面（R1）反射。此外，穿过薄膜的光在基板（金属）和薄膜界面（R2）处被反射。测量此时由于光程差引起的相移所引起的光学干涉现象，并根据得到的反射光谱和折射率计算膜厚的方法称为光学干涉法。

　　显微分光膜厚仪的作用特点：

　　1、自动对焦作用。配备激光自动对焦作用，能够准确对焦，提高量测效率。

　　2、具有焦点距离切换作用，适用于有凹凸的机器部件与电路板的底部进行量测

　　3、膜厚仪采用检量线法和FP法，两个准直器可自动切换，采用激光自动对焦，并配备有Z轴防冲撞传感器，可防止在对焦时造成的损坏。

　　4、选用Mo靶材X射线管，量测贵金属更灵敏。

　　5、膜厚仪支持多种语言的软件系统。简体中文、繁体中文、英语、日语、韩语

　　6、搭载样本尺寸的兼容性可适用于各种样本，能够通过一台仪器量测，从电子部件、电路板到机器部件等高度较高的样本，从较厚的样本(机器零部件)之大型线路板(PCB)及电子元器件等

　　7、卤素灯照明

　　8、即时生成量测报告的便捷性。运用搭载的MicrosoftWord，Excel可以简单轻松得到制作报告

　　9、多种修正作用。基材修正、已知样本修正、人工输入修正

　　10、膜厚仪搭载了电动Ｘ－Ｙ移动平台

　　显微分光膜厚仪广泛应用于各种薄膜、涂层光学常数(nandk)和厚度的精确测量，设备分为在线和离线两种工作模式，操作便捷，几秒钟内即可完成测量和数据分析，USB连接计算机控制；薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发生与膜厚及折光系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术，我们的薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。

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